定制漏孔（氦檢漏儀內(nèi)置標準漏孔）VTL-EA型

檢漏儀內(nèi)置標準漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一部分，與檢漏儀的精確度息息相關(guān)，檢漏儀器檢測過程中用來校準其精度的一種標準漏率。

關(guān)鍵詞：標準漏孔 | MPCVD | 電容薄膜規(guī)真空計 | 高低真空校準裝置 | 氦漏孔校準裝置

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產(chǎn)品詳情

檢漏儀內(nèi)置標準漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一部分，與檢漏儀的精確度息息相關(guān)，檢漏儀器檢測過程中用來校準其精度的一種標準漏率。通過比較檢漏儀對這些標準漏孔進行檢測時的響應(yīng)值與實際尺寸的差異，可以評估檢漏儀的檢測精度和穩(wěn)定性，在檢漏儀的檢測過程中，由于受到環(huán)境、物質(zhì)等各種因素的影響，檢測結(jié)果可能會出現(xiàn)誤差。此時若采用標準漏孔進行校準，便可以提高檢測儀器的準確性和可靠性。

目前通常是廠家提供的鋁制滲氦標準漏孔，漏率一般是10-8Pa·m3/s量級，東貝真空制作的內(nèi)置標準漏孔是采用微通道毛細管的通道型漏孔。

技術(shù)參數(shù)一覽表

VTL	-EA
漏孔元件	微通道毛細管	漏率	10-8Pa.m3/s (其他漏率可定制）
充壓	可重復(fù)充氣	對外接口	根據(jù)檢漏儀接口定制，如KF16
示值允許偏差	±10%	溫度補償	＜0.3%/℃
應(yīng)用	可以替代當前主流品牌檢漏儀的內(nèi)置漏孔，例如：INFICON(英福康）、Leybold（萊寶）、Pfeiffer/Adixen(普發(fā)/阿爾卡特）、KYKY

特點

抗震抗摔，使用壽命長：檢漏儀自帶漏孔為滲氦漏孔，泄漏元件是玻璃滲透膜，非常容易破碎損壞，而且不能充氣重復(fù)使用，廠家建議一般2年更換漏孔，東貝真空采用的微通道毛細管通道型漏孔，抗震抗摔，使用壽命一般為滲透膜材質(zhì)漏孔幾倍甚至更長。

漏率穩(wěn)定：檢漏儀自帶的滲氦漏孔，溫度系數(shù)一般為3.0%~4.0%/℃，由于天氣不同的溫差，以及檢漏儀內(nèi)部開機前后內(nèi)部相對封閉環(huán)境的溫度變化等，均會對漏孔的漏率影響較大，而且滲氦漏孔的穩(wěn)定時間非常長，通常需要幾個小時，這必然會造成檢漏儀的偏差；東貝真空采用的微通道毛細管技術(shù)溫度補償小于0.3%/℃，可忽略溫度補償（溫度變化10℃漏率變化相當于滲氦漏孔變化1℃）。

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